真空環境的獲得比較困難，尤其是超高真空環境，其中主要的影響因素有以下幾點：

1. 部件生產過程中，其表面不可避免的會附著金屬碎屑和灰塵，因此在進行抽空作業前，必須對部件表面進行清潔，以保證環境盡快達到所需要求。

2. 在溫度和壓力的作用下，所有物質都可以通過冷凝和蒸發在固液氣三種狀態下變化，因此物質的聚集狀態對真空環境的影響巨大。

3. 吸附在部件表面的氣體在真空環境下會被解吸，之后逸到真空環境中，影響真空系統、另外真空系統通常由不同的密封件連接在一起，由于密封質量的不同，因此整體的漏率對真空環境影響較大。

4. 為了獲得高質量的真空環境，在操作過程中，可使用烘烤的方法增加氣體的解吸和擴散，以便設備能更多的抽出金屬中逸出的氣體。

5. 由于解吸過程緩慢，為了防止冷凝蒸汽（如水蒸氣和其他可冷凝物）吸附在真空室內壁上，造成避免不必要的污染，應該使用干燥的氮氣代替空氣對真空室進行排氣。