探針臺作為半導體測試的核心設備,其分類體系主要基于操作自動化程度、被測對象類型及功能特性三個維度構建。在操作方式上,可分為手動、半自動和全自動三種類型,分別對應不同精度和效率需求;針對測試對象差異,則細分為晶圓測試、晶粒檢測及LED/功率器件/MEMS專項測試平臺;功能特性維度則...
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